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橡膠空氣彈簧隔振設(shè)計(jì)及性能分析
來源：上海松夏減震器有限公司????發(fā)布時(shí)間：2016-11-19 14:33
橡膠空氣彈簧隔振設(shè)計(jì)及性能分析
壓印光刻機(jī)是一種精密儀器,外界環(huán)境激勵(lì)對(duì)壓印光刻機(jī)的影響很大。橡膠空氣彈簧是一種氣囊減振器,用橡膠空氣彈簧隔離外界環(huán)境對(duì)壓印光刻機(jī)的干擾,能保護(hù)壓印光刻機(jī)免受低頻激勵(lì)力的激勵(lì),文中闡述壓印光刻機(jī)低頻橡膠空氣彈簧單自由度隔振系統(tǒng)的隔振原理,確定橡膠空氣彈簧的剛度及隔振系統(tǒng)的固有頻率,隔振系統(tǒng)的固有頻率及隔振效率的理論結(jié)果與實(shí)際隔振系統(tǒng)的試驗(yàn)結(jié)果相吻合,表明壓印光刻機(jī)的低頻隔振設(shè)計(jì)是合理可行的。確定合理的橡膠空氣彈簧參數(shù) （1）橡膠空氣彈簧工作原理 橡膠空氣彈簧是一個(gè)內(nèi)部充以一定壓力氮?dú)饣蚩諝獾拿荛]容器，其基本功能是利用氣體的可壓縮性，隨著吸入壓力和排出壓…
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