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阿斯麥(ASML)半導體設備被動式空氣彈簧隔振器介紹

來源:上海松夏減震器有限公司????發(fā)布時間:2023-05-30 11:37

阿斯麥(ASML)半導體設備被動式空氣彈簧隔振器介紹:被動式空氣彈簧隔振器在造紙設備、皮革機械、振動臺、紡織設備、礦山、機械等行業(yè)應用十分廣泛。工業(yè)設備上使用的被動式空氣彈簧隔振器根據其橡膠體的層數大致分為單層、雙層、三層橡膠氣囊。
被動式空氣彈簧隔振器工作原理:空氣彈簧工作時,內壁充進壓縮氣體,形成了一個壓縮氣體氣柱。伴隨著振動載荷數量的增加,彈簧的高度減少,內壁容積減少,彈簧的剛度增多,內壁空氣柱的有效承載面積加大,此時此刻彈簧的載荷力度增多。當振動載荷量減少時,彈簧的高度升高,內壁容積增多,彈簧的剛度減少,內壁空氣柱的有效承載面積減少,此時此刻彈簧的載荷力度減少。如此一來,空氣彈簧在合理的行程內,被動式空氣彈簧隔振器的高度、內壁容積、載荷力度伴隨著振動載荷的遞增與減少發(fā)生了一些平穩(wěn)的柔性傳遞、振動幅度與振動載荷的控制。還可以利用增、減充氣量的方式方法,調節(jié)彈簧的剛度和承載力大小,同時也可以附屬輔助氣室,實現了自動控制調節(jié)。
半導體設備被動式空氣彈簧隔振器介紹
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